真空镀膜装备领域的高功率溅射电源研发

1.需求背景：真空镀膜装备领域的高功率溅射电源技术的核心在欧美，且该项技术难度系数非常之大，目前该项技术在国内尚属空白。
2.主要技术参数要求：功率为30kw；设计寿命：设计稳定寿命5年。
3.性能要求：工艺、硬件及功能稳定性达到国际知名企业AE、霍廷格等产品的水平；可实现产品替换，打破国际品牌在此领域的垄断，实现该类产品的国产化。
4.该技术下产品的定位：为国内真空镀膜装备研发和制造行业提供具有可支付性的、高性价比的高功率溅射电源。成熟度：可产业化阶段为宜，中试阶段亦可。
5.成本：AE、霍廷格价格的50%-60%。
6.交期：AE、霍廷格周期的30%-40%。