高功率高重频 266nm 紫外 DPL应用研究

微电子激光加工领域需要稳定输出高功率高重频 266nm 紫外激光器，技术指标要求如下： 1、平均输出功率: ≥6W；
2、重复频率：1～20kHz 可控；
3、脉冲宽度：≤20ns；
4、输出激光束散角：≤3mrad。