MEMS耐高温压力传感器技术

该项目应用先进的MEMS技术，研制完成了耐高温压力传感器涉及、制造关键技术及系列产品开发，解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。研制的压力传感器主要技术指标：工作温度：-40~200度；压力量程：0~1000MPa任意量程；固有频率：小于等于1MHz；综合精度：0.5%FS，高G值加速度计指标：1x1015g（g为重力加速度）。该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖，"