微电子级四甲基氢氧化铵

技术属性说明随着微电子工业发展，国内微电子化品需求逐年增多。而微电子化学品的质量是微电子发展的关键，产品中杂质离子要求达到很低，通常要求杂质金属离子低于0.1ppb、1ppb或10ppb。普通设备和技术是无法生产，需要超纯制造设备和技术。本技术采用超纯超净电解技术生产微电子级四甲基氢氧化铵，其产品中杂质金属离子要求10ppb以下。技术创新点1）原料超净处理技术。2）超纯超净电解技术。3）超纯超净产品包装技术。技术的成熟度完成了小试技术。技术的实用性和适用领域无污染环保技术，应用于微电子行业、电子、光伏"