装备制造中的精密定位关键技术

将图像定位与激光定位技术相集成，由图像定位技术自动定位至250微米的光栅捕捉范围内，再由激光光栅定位技术实现误差为±5微米的高精度平面定位。由此构成捕捉范围宽、定位精度高的一体化精密定位系统。 精密定位装配机