大高宽比 AFM 探针的批量制造方法

一种高效率、低成本批 量(而非单个)制造大高宽比、纳米尺寸 AFM 探针的方法。由于 大高宽比结构是通过蚀刻工艺来实现的，所以制备大高宽比、 纳米尺寸 AFM 探针的关键是在探针的顶端形成掩模。本项技术 采用自组装的方法形成蚀刻掩模，从而避免使用任何昂贵的光 刻或类似微纳图案制备技术。