一种制备石墨烯的设备及方法

本发明公开了一种制备石墨烯的设备和方法，该设备主要包括负离子源、分析磁铁、扫描系统、样品架、束流积分仪和真空室，采用上述设备能在能量为5-30keV的范围内进行碳团簇离子在衬底中的注入，然后利用不同温度下碳在衬底中溶解度的不同，经退火处理，使碳从衬底表面析出形成石墨烯。采用本发明设备和方法可以制备面积大、缺陷少、层数少且层数分布均匀的石墨烯，所制备的石墨烯可用作锂离子电池、超级电容器的电极材料，为石墨烯在锂电池、电容器等工业化产品中的大规模应用提供了一种新的途径。其特征在于，包括：负离子源、分析磁铁、"