一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪

本发明提供一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪，包括红外光源、前置光学系统、样品池、分光成像模块、MEMS检测器、控制与信号处理模块。本发明采用固定光栅分光，阵列检测器检测，整个仪器无任何移动部件，具有很强的环境适应能力，且由于采用线阵检测器，检测范围内各波长同时被采集，可以提高光谱采集速度。本发明体积小、便于携带，可用于现场和在线检测等，适应野外振动、潮湿以及温差大的恶劣环境。一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪，包括红外光源(1)、前置光学系统(2)、样品池(3)，其特征在于：还包括分光成像模块、"