一种节能型多功能旋涂机

一种节能型多功能旋涂机 1、简要描述： 本发明提出与常规搅拌器进行简单组装即可获得尺寸可调、涂液方便回收利用且成本低廉的旋涂设备。 2、应用领域：适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶（sol-gel）实验中的薄膜制作。 3、技术指标：转速>4000r/min，时间可控，多余旋涂液可回收。 4、创新指标： ① 涂覆杯使用方便，便于拆卸，便于涂液的回收利用，便于不同形状、不同尺寸试样的固定。  ② 利用自动控制器，根据不同的情况任意控制电"