固态纳米孔芯片加工和生物单分子检测

通过一系列可兼容的半导体微纳加工工艺，可以批量，大规模，可控的实现芯片级别（4英寸，包含500-600个纳米孔芯片）的纳米孔芯片加工。其中，纳米孔通过透射电子显微镜中高能电子束制备，尺寸在2 nm-100 nm区间精确可调，可控精度高达1 nm。纳米孔通道厚度在20-80 nm间精确可控。通过膜片钳技术和成熟泳池封装技术，可实现成功率在96%以上的单分子检测。在成熟开展SiN纳米孔芯片加工和检测技术基础上，拥有精确，可控加工更为先进的石墨烯纳米孔器件方法，纳米孔尺寸在2 nm到50 nm精确可调，厚度"