磷化锗锌晶体材料及其器件

磷化锗锌晶体材料及其器件 主要研究内容：    双温区法大批量高纯单相ZnGeP2多晶合成工艺；大尺寸晶体坩埚下降法生长及后处理工艺，包括纵径向温场、下降速率、退火温度与时间等；器件研制，包括膜系设计与镀膜工艺；研究生长工艺、缺陷和光学性能间关系，并通过改进工艺减少缺陷，提高晶体和器件性能。技术指标、特点：    晶体尺寸φ20×120mm，3-8μm吸收系数< 0.03cm-1，2.05μm吸收系数< 0.1cm-1；器件尺寸5"