ZR-AL-SI-N硬质复合涂层及其制备方法

高校老师的发明创造，老师愿意提供全套的技术指导：一种陶瓷材料技术领域的高硬度Zr-Al-Si-N复合涂层。本发明采用高纯Zr靶，Si靶和Al靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上，Zr-Al-Si-N层的总厚度为2~3μm。这种硬质涂层能够获得43.92GPa的高硬度，抗氧化温度超过1000℃。本发明的Zr-Al-Si-N复合涂层可以采用在氩、氮混合气氛中的双靶反应溅射技术在抛光的金属、硬质合金或陶瓷基体表面沉积得到。本发明所得的Zr-Al-Si-N复合涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有"