多元等离子体基离子注入混合及多层复合膜技术

多元等离子体基离子注入混合及多层复合膜技术     多元等离子体基离子注入混合及多层复合膜技术是在哈尔滨工业大学最新研制的新一代表面改性设备DLZ-01型等离子体表面改性装置上开发出来的最新表面改性技术，它综合了目前流行的多种利用等离子体方法进行表面改性的先进技术，将磁控溅射离子镀、多弧离子镀及全方位离子注入技术结合在一起，形成一种新型的等离子体基表面改性技术。此技术已获得国家发明专利。该装置可以根据表面工程技术的具体要求，在不破坏真空的情况下，单独或同时进行离子镀或离子"