氨解法制备氮化硅

高纯氮化硅是特种陶瓷行业用关键原材料，目前掌握液相法制备氮化硅技术的只有日本，价格昂贵，优质氮化硅对中国实施禁运，严重影响特种陶瓷行业的发展。开发氨解法制备氮化硅工艺，要求产能超过100吨，氮化硅α相＞95%，粒径1-50um，形貌可控，纯度超过5N。