AMOLED湿法刻蚀机

技术参数与实际应用性能要达到同类进口设备的技术水平，实现角度和速度的多级可调；喷淋系统技术，将流量分布均匀性全局控制在2%以内；确保湿法刻蚀的均一性，基板内≤8%，基板间≤5%，批次间≤8%，刻蚀线宽损失≤-2μm；