无尘室微尘防治及降低的措施或者设备

生产车间洁净等级为Class1000，设备内部洁净等级为Class100。随着显示行业产品分辨率、亮度、品质要求等规格越来越高，仅仅达到洁净等级要求已经远远不能满足生产良率需求，尤其是<1.0um的极小微尘的去除显得尤为重要。
目前在微尘防治和改善方面普遍采用的是使用无尘室专用低发尘材料和零部件，通过加大气流流动将微尘控制在对产品无害的范围，以及定期对设备内外部进行人工清洁。同时市面上还存在一种静电微尘捕捉器，但是实际测试效果不佳。
是否存在一种无尘室微尘防治及降低的措施或者设备？可以有效的减少微尘发生，或者即使微尘发生了也可以被有效的被从空间内捕捉抽离。
需达到相关技术指标：
气流速度为：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）
一般之温度控制范围：T=(21±2)℃
一般之湿度控制范围：（45±5）%RH