精密机械，光刻工件台系统设计

寻求有相关领域技术的专家或企业，以期可以设计出一种光刻工件台系统，增强现实，紫外LED曝光反馈控制电路。要求定位稳定时间要＜20ms；对应系统带宽要达到200Hz以上；定位误差在20nm以内。