光通讯器件非球面硅透镜生产工艺研究

耦合效率是光信号能量传送的重要指标，目前传统的球面硅透镜的批量生产工艺（刻蚀生产工艺）已经成熟，其产品耦合效率约在70%—80%，非球面硅透镜的耦合效率能达到90-95%。为了进一步提升光器件的耦合效率，需要研发非球面的硅透镜的生产工艺技术。现需要寻求非球面的硅透镜的生产工艺及相关技术。要求球面直径从0.2—0.7毫米。