新型高效率横向变掺杂终端结构及制造技术

新型高效率横向变掺杂终端结构及制造技术：在相同耐压的情况下需使终端尺寸减小，使相同耐压及Rdson的情况下，芯片面积小20%，需提高横向变掺杂结构器件的抗雷击与浪涌能力，满足全球用户对该指标的要求。