柔性薄膜溅射工艺改进

项目描述：12um/16umPEN塑料薄膜上溅射铬（130nm）/铝+铬（44nm+86nm）；
技术缘由：柔性薄膜为我司静电遮阳系统中，最为重要的组成成分,金属镀层作为骨骼支撑PEN，完成遮阳系统的展开收缩功能实现，优良溅射工艺能给遮阳系统带来更号的功能和更长的使用寿命。
要求：有良好的镀膜工艺及设备，能处理好在镀膜过程中热效应对膜产生的影响。
达到的效果：溅射出符合我们工艺的金属膜，厚度在5 nm~114 nm之间。