一种特殊的非金属材料

本公司正在研发管一种用于制备高效技术太阳电池薄膜沉积装备—等离子体增强化学气相淀积（PECVD）装备，主要功能是在电池背面沉积非晶硅（a-Si:H）半导体纳米材料。目前，电池片载具正负级绝缘材料在工艺环境中也沉积a-Si:H材料，生产工艺进行3次左右导致电池片载具正负极导通，导致高效电池无法产业化。迫切解决的技术难题是，寻求开发一种耐500℃以上、刚性好、绝缘性好非金属材料，在PECVD工艺环境中不能沉积a-Si:H半导体材料。