200KHZ射频电源开发及产业化

本公司正在研发管一种用于制备高效技术太阳电池薄膜沉积装备—等离子体增强化学气相淀积（PECVD）装备，主要功能是在电池背面沉积非晶硅（a-Si:H）半导体纳米材料。现需要一种非标定制的射频电源，主要参数如下：
功率10KW
频率 200KHZ
本公司提供研发经费、测试平台，产业化成熟，可成立项目公司。