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超高纯半导体用化学品净化包装容器610次阅读 2017-11-13
中国近年来高度重视半导体企业的发展,而半导体芯片在生产中所需的电子化学品要求越来越高,目前超高纯电子化学品的金属离子要求PPT级、颗粒要求在0.5μ以上的颗粒数不超过10个/ml以内。但目前的瓶颈是国内没有企业能生产可包装超高纯半导体用化学品的容器。国内集成电路行业生产8英寸芯片黄光区用化学品如光刻胶、显影液等十余种化学品的容器完全依靠进口,急需超高纯半导体用化学品包装容器的生产技术。
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