真空镀膜机的开发应用

针对电子原件及电子玻璃的PVD镀膜应用，开发与产业化电子原件膜系制作工艺配套的镀膜设备，比目前设备效率提高50%以上，ITO镀膜消影玻璃生产良率由目前的82%提高到90%以上。