基于双温控技术的在线氮气加热器的研发

现状：
在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇IPA吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。
现有的氮气在加热的过程当中时长会出现压力过高的问题，而现有的氮气加热器在进行加热的过程当中并不能很好的对氮气加热时产生的压力进行控制，并且当氮气加热压力过大时也并不能及时的给予工作人员提示，一旦压力出现过高的现象，可能会造成很严重的损失，因此我们进行了基于双温控技术的在线氮气加热器的研发。

需解决问题：
（1）在线氮气加热器的工作原理及过程：通过把手将加热器打开，然后将放满晶圆的放置架放到加热箱内部，同时使用者可以打开单向阀通过管体向内联加热器的内部注入氮气，同时开启内联加热器和红外线加热管对氮气进行加热，加热后的氮气会通过内联加热器的排气口排入加热箱内部，气体在进入内部后，通过压力调节阀的进气口进入第三管体内部，而第三管体又会将气体输送入安全阀的内部，最终通过第二管体输送入加热箱内部，从而对晶圆进行烘干。
（2）智能化温控系统技术：根据客户的生产工艺需求，进行智能控温设计，采用欧姆龙温控器和精密温度侦测探头，配备自主设计的软件，实现加热温度可调、可控；
（3）双温控控制技术：在加热源与氮气输出端分别配备温控探头，分别实时侦测温度，与设定温度值比较，超出设定范围即报警；从而使温控更精确，温度异常，可提前报警，使用更安全。

达到的指标：
（1）出口温度:25-200°C；
（2）气压:0.3-0.6MP；
（3）流速:50-200L/min；
（4）可实时加热；
（5）最高的工作温度可达700℃。