兼容不同材质反光特性的高维成像系统

现状：
精密表面缺陷检测是半导体、新能源、3C制造等高端制造业质量控制的核心环节，在晶圆、陶瓷、石墨烯、特种金属及光学玻璃等材料进行表面加工处理时，无法避免产生划痕、气泡、凹坑、色差等缺陷，现有检测技术面临如下的严峻挑战：
1、材质兼容性差：高反光材质（如镀膜玻璃）与亚光材质（如陶瓷）需不同成像方案，传统单一光学系统无法兼顾；
2、缺陷类型多样且灵敏度差：针对结构缺陷（划痕）、几何缺陷（凹坑）、颜色缺陷（色差）等几十种缺陷需采用不同的传统成像系统，多个成像系统之间信息割裂，无法有效共享形成高维特征，导致缺陷鉴别性差；
3、效率与精度失衡：传统视觉成像系统成像工位数量多，机构系统设计复杂，调试繁杂，整体检测节拍效率低。

需解决问题：
精密表面缺陷检测领域，亟需对传统成像进行突破，实现对多种不同特性缺陷的高质量、高效率和高兼容性的信息捕获系统。传统成像系统无法兼容高反光材质和亚光材质，亟需开发一种可兼容不同材质反光特性的高维成像系统，实现兼容不少于10种材质和镀层表面的面阵融合成像系统，降低系统设计复杂度和设计调试成本，并设计高性能并行处理框架，研发高性能异构原生硬件计算成像加速系统，整体节拍提升2-3倍。

达到的指标：
1、成像精度：最大可支持1亿像素分辨率，实现可见极小凹凸/划痕5um的成像精度；
2、融合速度：在6500万图像分辨率系统下，实现成像和多通道图像合成速度小于400ms；
3、适应目标：兼容10种以上反光或亚光表面材质，实现包括异物、异色、刮伤、凹陷、凸起、可见裂纹等20种缺陷的可鉴别性。