已完成首台（套）多栈管式PECVD装备（型号JC-432-1D/TS），该型号设备在进行全线工艺开发与验证，已通过各项技术指标检测。 公司申请了31项专利（发明专利14篇，实用新型专利17项），2项软件著作权，完成了关键技术保护，建立了良好的产业化所需的技术和知识产权储备。 公司依据GB/T1.1-2009《标准化工作导则第I部分：标准的结构与编写》，完成了《JC-432-1D/TS型管式PECVD设备》产品企业规范标准。